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英国Servomex仕富梅 SERVOPRO NanoChrome痕量氢烃分析仪

英国Servomex仕富梅 SERVOPRO NanoChrome痕量氢烃分析仪

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  • 品   牌:英国Servomex(仕富梅) 
  • 简   介: 英国Servomex仕富梅 SERVOPRO NanoChrome痕量氢烃分析仪采用灵敏非损耗型等离子发射检测器 (PED)技术和ProPeak信号处理技术,适用于半导体行业的一种高性能分析仪,可对Ar/N2/H2/CH4/CO/CO2/NMHC等多种气体分析‌。

英国Servomex仕富梅 SERVOPRO NanoChrome痕量氢烃分析仪采用灵敏非损耗型等离子发射检测器 (PED)技术和ProPeak信号处理技术,适用于半导体行业的一种高性能分析仪,可对Ar/N2/H2/CH4/CO/CO2/NMHC等多种气体分析‌。


英国Servomex仕富梅 SERVOPRO NanoChrome痕量氢烃分析仪产品简介:

1、优异的性能

创新的高灵敏度的等离子体发射探测器(PED)可以测量超微量Ar、N2、H2、CH4和CO2,CO,和NMHC。

propeak峰值检测技术使测量灵敏度高。

直接分析法消除了FID和RGD测量的不确定性。

2、应用灵活

在一个广泛包括He、H2、N2、 Ar、NMHC、Ar和O2等广泛常见的背景气中测量超微量H2、CH4、CO2、N2 、CO等气体的更全的解决方案。

当结合DF-500和DF-700分析仪可以成为一个完全独立的高纯气体分析的解决方案。

可以远程访问的数字通信配置:互联网/以太网以及RS232。

3、使用简便

监控软件综合了为充分色谱图,处理结果,统计和历史记录。

内部稀释系统选项易燃气体燃料没有要求,提高*全性和简化安装。

4、成本较低

非消耗的传感器和智能软件延长了校准的间隔。

不需要甲烷转化器或消耗的燃料气。

成本效益和简单的长期维护工作。

5、关键应用

半导体生产装置-质量控制

半导体生产装置-静态分析系统

6、适用规范和认证

规范: In compliance with Low Voltage, EMC and applicable Directives

认证:In compliance with EMC Directives, rated for Overvolta

ge Category II and Pollution Degree 2

英国Servomex仕富梅 SERVOPRO NanoChrome痕量氢烃分析仪产品特点:

SERVOPRO NanoChrome是适用于半导体行业的一种高性能分析仪,在包括He、H2、 N2、Ar和 O2等广泛常见的背景气中测量超微量H2、CH4、CO2、N2 、CO 、Ar 以及 NMHC。

采用先进的仕富梅专门开发的新型等离子发射光谱检测器(PED)传感技术和propeak软件,NanoChrome在性能方面超过传统的火焰离子化检测器(FID)和还原气体检测器(RGD),在传感技术的*全性和稳定性,降低成本的能力方面具有相当大的优势。

仕富梅的先进的信号矫正技术使用propeak滤波技术提供一个高灵敏度、高选择性 ,你可以信赖的测量。

当与仕富梅的DF-500超微量氧和DF-700微量水分析仪共同使用,NANOchrome能够成为高纯气体监测的成套解决方案。

英国Servomex仕富梅 SERVOPRO NanoChrome痕量氢烃分析仪.jpg

仪器参数

英国Servomex仕富梅 SERVOPRO NanoChrome痕量氢烃分析仪设备规格:

尺寸:482mm (18.9”) Wide x 117mm (4.6”) High x 600mm (23.6”) Deep

重量:11-27kg (25-60lb) applications dependent

检测器类型: 增强型等离子发射检测器

运载气体: 净化的氦气或氩气

LDL: 检测限低达 300ppt(根据具体情况加以应用)

可重复性: 检测限读数误差为 ±2%,以较高者为准

样气流量: 50-350ml/min(根据具体情况加以应用)

样气压力: 30psig(根据具体情况加以应用)

载气流量: 通常为 90-500ml/min(根据具体情况加以应用)

载气压力: 建议为 100psig

燃料和空气: 任何情况下都不需要

功率消耗: 400W-1200W

流量稳系统: 全部流量采用PID系统进行电子控制

量程: 0-250ppb(用户可以配置)

校准: 250ppb 标气或在选装内部稀释系统条件下使用5ppm标气

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英国Servomex仕富梅 SERVOPRO NanoChrome痕量氢烃分析仪